Bộ thiết bị kiểm tra tĩnh điện SCS 770050
- Giám sát liên tục hệ thống kiểm soát quy trình ESD trong tất cả các giai đoạn sản xuất
- Phần mềm SMP - thu thập dữ liệu từ máy trạm, thiết bị SCS và màn hình sự kiện ESD
- Ground Master Monitor – giám sát đường đi tới mặt đất của các dụng cụ và thiết bị kim loại
- WS Aware Monitor – giám sát các toán tử, bề mặt làm việc, công cụ toàn vẹn từ đường đến mặt đất
- EM Aware Monitors – giám sát các sự kiện ESD, thay đổi trường điện áp tĩnh, hiệu suất của bộ ion hóa
|