Trục Y có động cơ (dưới): 500 mm
Bước: 0,2 micromet
Tấm đế: 1200 x 900 x 58 mm
Tấm mẫu: 600 x 600 mm
Chiều cao nhỏ nhất NPS: 1 micromet
Tải trọng tối đa trên trục Y: 15 kg
Tốc độ di chuyển XY tối đa: 10 mm / giây
Option trục XY: 100, 300, 800, 1000 & 1500 mm