Kính hiển vi điện tử quét HIROX SH-4000M (60.000x)
Độ phân giải: 15 nm (SE), 20 nm (BSE)
Độ phóng đại: Tối đa. 60.000x
Điện áp: 1kv ~ 30kv (1/5/10/15/20/30)
Cảm biến: SE (Điện tử thứ cấp)
BSE (Điện tử tán xạ ngược)
Nguồn phát điện tử: Tungsten Filament (cartridge)
Hệ thống trục: X: 35nm, Y: 35mm, R: 360 ° / 3 trục (Thủ công)
* X, Y, R Có động cơ - option
* Độ nghiêng: 0 ~ 45 ° - option
Mẫu (Đường kính / Chiều cao): 70mm / 30mm
Hệ thống chân không: cao & thấp