Kính hiển vi điện tử quét HIROX SH-5500 (150.000x)
Độ phân giải: 5 nm (SE)
Độ phóng đại: Tối đa. 150.000x
Điện áp: 1kv ~ 30kv (1/5/10/15/20/30)
Cảm biến: SE (Điện tử thứ cấp)
Nguồn phát điện tử: Tungsten Filament (cartridge)
Hệ thống trục: X, Y: 40mm, R: 360°, Z: 0~50mm, T: -15~90°
- 5 trục (có động cơ)
Mẫu (Đường kính / Chiều cao): 80mm / 50mm
Hệ thống chân không: Cao