Kính hiển vi kỹ thuật số HIROX NPS & RH-2000
Quang học Hirox - Độ phân giải cao
Công suất quang học cao nhất: từ 0,1x đến 10.000x
Nhiều công nghệ chiếu sáng: BF / DF / POL / DIFF / UV, ...
Đầu quay HIROX được cấp bằng sáng chế: Kiểm tra động cơ 360 °
Trục Z - Các bước cực tốt
Trục Z có động cơ: 30 mm với bước sóng 50 nm
Thủ công bổ sung Z: trục Z bằng tay 80 mm
Thiết kế đặc biệt: nhỏ gọn hoặc hệ thống cầu
Cảm biến NPS - Độ chính xác cao
Phạm vi đo rộng: từ 100μm đến 24.000μm
Khoảng cách làm việc lớn: từ 3mm đến 25mm
Nhiều loại đo lường: hình thức, độ phẳng, độ nhám, ...
Trục XY - Độ chính xác cao
Phạm vi di chuyển rộng: từ 40x40 mm đến 500x500 mm
Giai đoạn chính xác cao đặc biệt: bộ chuyển động 110x75mm
Bước XY nhỏ: từ 0,1 μm