Công suất trung bình tối đa (liên tục): 15000 W
Công suất trung bình tối thiểu1: 500 W
Công suất tương đương nhiễu2: 15 W
Dải quang phổ: 0,193 - 20 μm
Thời gian tăng điển hình: 15 giây
Độ không chắc chắn hiệu chuẩn công suất: ±5 %
Độ lặp lại: ±2 %
Phản xạ ngược: 2 - 4 %
Độ tuyến tính với công suất: ±2 %
Độ tuyến tính so với đường kính chùm tia: ±1 %
Độ tuyến tính so với vị trí chùm tia3: ±1,0 %