Công suất trung bình tối đa (liên tục): 30000 W
Công suất trung bình tối thiểu1: 1000 W
Công suất tương đương nhiễu2: 30 W
Phạm vi phổ3: 0,193 - 20 μm
Thời gian tăng điển hình: 25 giây
Độ không chắc chắn hiệu chuẩn công suất: ±5 %
Độ lặp lại: ±2 %
Phản xạ ngược: ~ 15 %
Độ tuyến tính với công suất: ±2 %
Độ tuyến tính so với đường kính chùm tia: ±1,0 %
Độ tuyến tính so với vị trí chùm tia: ±1,0 %