Công suất trung bình tối đa (liên tục): 70 W
Công suất trung bình tối đa (1 phút): 110 W
Công suất tương đương tiếng ồn1: 1 mW
Phạm vi phổ2: 0,193 - 20 μm
Thời gian tăng điển hình3: 0,3 giây
Độ không chắc chắn hiệu chuẩn công suất4: ±2,5 %
Độ lặp lại: ±0,5 %