Khi máy giao thoa kế laser thực hiện phép đo truyền dẫn, ánh sáng đơn sắc phát ra từ nguồn sáng laser sẽ tạo thành các vân giao thoa sau khi đi theo phương thẳng đứng xuống các bề mặt trên và dưới của phần tử được phát hiện và được phản xạ bởi bộ phản xạ chuẩn. Các vân giao thoa được tạo ra tại mỗi điểm phụ thuộc vào độ chênh lệch quang đường đi của hai ánh sáng kết hợp tại điểm đó. Khi độ chênh lệch quang đường đi là nλ+0,5λ, nó được hiển thị dưới dạng vân tối. Khi độ chênh lệch quang đường đi là nλ+λ, nó được hiển thị dưới dạng vân sáng.
Do đó, khi hai mặt của phần tử được thử nghiệm không hoàn toàn song song và có Góc nêm, theo hướng Góc nêm, độ dày của phần tử tăng dần và độ chênh lệch đường quang tương ứng cũng tăng dần và sự phân bố khoảng cách của các sọc sáng và tối sẽ được tạo ra theo hướng Góc nêm. Góc nêm càng lớn, các sọc càng dày đặc.
Thông số kỹ thuật phát hiện:
Giá trị PV được định nghĩa về mặt toán học là giá trị Đỉnh đến Thung lũng, là sự khác biệt giữa giá trị cực đại và cực tiểu. Đơn vị là λ(bước sóng). Tương ứng với phát hiện truyền của máy giao thoa, là sự khác biệt về độ dày của phần tử được phát hiện.
Giá trị RMS được định nghĩa về mặt toán học là giá trị căn bậc hai trung bình trong λ(bước sóng), là giá trị thống kê và kích thước của RMS phản ánh mức độ rời rạc của các giá trị dữ liệu này. Tương ứng với phát hiện truyền của máy đo giao thoa, giá trị RMS càng nhỏ thì độ mịn của độ dày của phần tử được phát hiện càng tốt, độ dao động càng nhỏ.
Số lượng rễ rìa là biểu diễn trực quan về sự khác biệt về độ dày của phần tử được kiểm tra có thể nhìn thấy bằng mắt thường và có liên quan tuyến tính với giá trị PV. Số lượng rễ rìa càng ít thì sự khác biệt về độ dày của phần tử được kiểm tra càng nhỏ.
Thông số kỹ thuật:
| Nguyên lý đo lường |
Nguyên lý giao thoa của Fizeau |
| Tia laze |
Laser bán dẫn
|
| Chiều dài sóng |
635nm |
| Khẩu độ hiệu quả |
6,5mm |
| Phần mềm |
Phần mềm PVmeter một kênh một lỗ
|
| Mục phân tích |
Giá trị PV, TTV, giá trị RMS |