Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC510
Chế độ Plasma: chọn RIE/DP
Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
Máy đo chân không: máy đo điện dung
Đầu ra tần số cao: Max 300W
Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
Phương pháp: Tự động điều chỉnh
Kích thước buồng: W500×D300×H200mm
Kích thước làm việc: W400×D200mm
Vật liệu buồng: Nhôm
Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
Bơm chân không quay: 500L/phút. (bao gồm)
Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W700×D700×H1,285mm
Trọng lượng: xấp xỉ. 180kg
Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp