Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PiPi
Chế độ Plasma: RIE (khắc ion phản ứng)
Cấu trúc điện cực: Loại bảng phẳng song song
Kích thước điện cực: W130×D130mm
Máy đo chân không: Máy đo Bourdon
Bộ điều khiển: Sequencer
Phương pháp phù hợp: Tự động điều chỉnh
Kích thước bên trong (W×D×H mm): 230×130×100mm
Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 438×520×565mm
Nguồn điện: 115V/220V Một pha với máy hạ áp
Trọng lượng: 50kg