Máy làm sạch bằng Plasma Yamato V1000
Chế độ Plasma: DP/RIE
Tần số dao động: 13.56MHz
Công suất RF: 1,000 ~ 2,000W
Kích thước làm việc: 280W×280D mm Phẳng song song
Khí phản ứng: Kiểm soát lưu lượng khối lượng, 2 hệ thống + 1 cho xả khí
Bơm chân không: Đã bao gồm, Thể tích khí thải 1000L/phút
Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt
Kích thước bên trong (W×D×H mm): 400×400×380mm
Kích thước bên ngoài (W×D×H m): 700×800×1600mm
Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
Trọng lượng: 1000kg