Plasma Modifier loại Barrel Yamato PM100
Nguồn plasma: Nguồn điện cao áp tần số thấp
Máy đo khí: Khí oxy, tốc độ dòng chảy 30 - 300 mL/phút
Buồng phản ứng: I.D 100mm×L160mm
Kích thước bên ngoài/Trọng lượng: W310mm×D300mm×H448mm/Khoảng 16kg
Nguồn (50/60Hz): AC115V/220V Một pha với biến áp bước xuống
Cổng kết nối bơm chân không: O.D 15mm với ống nối (Tốc độ xả của bơm được đề xuất 30L/phút)
Cổng kết nối gas: O.D 6.35mm có ống nối