Thiết bị đo áp suất chân không Chell Instruments BPG40x
Phạm vi đo cực rộng từ 5?10-10 mbar đến khí quyển (3,8?10-10 Torr đến khí quyển)
Độ lặp lại tuyệt vời trong phạm vi áp suất quy trình từ 10-8 ? 10-2 mbar 5%
Khóa liên động Pirani bảo vệ dây tóc khỏi bị cháy sớm
Hai sợi iridium phủ oxit yttrium có tuổi thọ cao
Màn hình đồ họa tùy chọn và giao diện Fieldbus có sẵn
Điều chỉnh Pirani chân không tự động giúp giảm sự can thiệp của người vận hành
Dễ dàng trao đổi phần tử cảm biến với dữ liệu hiệu chuẩn trên máy đảm bảo độ tái lập cao
Tuân thủ RoHS
Các ứng dụng điển hình
Đo áp suất trong quy trình bán dẫn và buồng chuyển
Lớp phủ công nghiệp
Đo và kiểm soát chân không chung trong phạm vi chân không thấp đến cực cao