Thiết bị đo áp suất chân không Chell Instruments CDG100D
CDG100D được kiểm soát nhiệt độ ở 100 °C để mang lại hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma đòi hỏi khắt khe. Chúng có sẵn cho phạm vi thang đo đầy đủ từ 100 mTorr đến 1000 Torr, với tất cả các loại mặt bích và giao diện fieldbus phổ biến và cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính từ 0 đến 10 V, loại khí, độc lập. Áp kế điện dung INFICON sử dụng màng gốm alumina siêu tinh khiết có khả năng chống ăn mòn. Ưu điểm của cảm biến gốm là độ ổn định tín hiệu tốt hơn, khả năng phục hồi từ khí quyển nhanh hơn, thời gian khởi động ngắn và tuổi thọ vượt trội. INFICON CDG là cảm biến áp suất chất lượng cao, tiết kiệm chi phí dành cho các ứng dụng bán dẫn, plasma và chân không có yêu cầu cao.
|