Thiết bị đo áp suất chân không Chell Instruments PEG100
Phạm vi đo rộng từ 1 x 10-9 đến 1 x 10-2 mbar (7,5 x 10-10 đến 7,5 x 10-3 Torr)
Cảm biến cathode lạnh hoàn toàn bằng kim loại (Penning) với bước tiến bằng gốm
Hình dạng điện cực cải tiến mang lại đặc tính đánh lửa tuyệt vời
Giảm điện áp cao sau khi đánh lửa plasma và tấm cực âm titan giúp giảm nguy cơ ô nhiễm, ngay cả trong quá trình phún xạ với argon
Vòng cực dương và cực âm titan có thể được làm sạch hoặc thay thế dễ dàng
Cường độ từ trường tối thiểu gần với đồng hồ đo
Đèn báo LED để bật nguồn và đốt cháy plasma
Logarit tín hiệu đầu ra analog
Giao diện Fieldbus (Profibus DB, DeviceNet) để dễ dàng tích hợp vào các hệ thống chân không sử dụng truyền thông mạng
Các ứng dụng điển hình
Giám sát áp suất chân không cao
Hệ thống bay hơi và phún xạ
Đo và kiểm soát chân không chung trong phạm vi chân không mịn và cao