Chế độ C-V
DCV: 3kV/ 200V
DCA: 120mA/ 1A
Điện áp đánh thủng: ±3000 V / 100 µV, 10 fA/ 0.05%
Dòng điện DC: ±20 A/ 100 nA, 1 µV / 0.05%
Dòng điện xung: ±50 A/ 100 µA, 1 µV/ 0.05%
Dòng rò: ±20 mA / 10 fA, 1 µV/ 0.2%
Trở kháng: <100 µΩ / 10 µΩ, 1 µV/ 1%
Điện áp bảo vệ: ±200 V /10 fA, 1 µV/0.2%
Chế độ đo C-V: 100kHz/ 10 nF/ 10 fF, 10 µV
Chức năng: ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG, LOG10, SQRT
Nguồn điện: 100V to 240V rms, 50–60Hz
Phụ kiện: HDSD, dây nguồn, đầu đo, cáp nối