Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR300
Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel
Đầu ra tần số cao: Max. 300W (100W×3 buồng)
Tần số dao động: 13.56MHz
Phương pháp điều chỉnh: Hai trục thủ công
Buồng phản ứng: Pyrex Glassø64×160mm×3 buồng
Hệ thống khí phản ứng: 1 hệ thống (oxy), đồng hồ đo lưu lượng
Hệ thống điều khiển: Tự động giảm áp suất, van rò rỉ tự động
Chất liệu đường ống: SUS, Teflon, đồng và đồng thau
Phụ kiện: Đĩa mẫu (lớn và nhỏ)×1 mỗi cái, Kệ mẫu×1 cái, Vacuum grease×1 cái, Vòng chữ O cho buồng phản ứng×3 cái
Kích thước bên trong (φ×D mm): -
Kích thước bên ngoài (W×D×H mm): 438×520×556mm
Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp
Trọng lượng: 36kg