Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR500
Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel
Đầu ra tần số cao: Max. 500W
Tần số dao động: 13.56MHz
Phương pháp điều chỉnh: tự động
Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm
Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4)
Hệ thống điều khiển: thủ công
Chất liệu đường ống: SUS, Teflon
Đầu vào khí: 1/4 "swagelok
Đầu vào máy bơm chân không: NW25
Kích thước bên ngoài: W438×D520×H760mm
Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp
Trọng lượng: 53kg
Phụ kiện tiêu chuẩn: Vacuum grease×1 pc., Vòng chữ O cho buồng phản ứng×1 cái
Optional accessories:
Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches)
Khung góc đa năng
Aluminum etching tunnel (tối đa φ180)
Bơm chân không (250L/phút trở lên)