Hiệu suất bơm kép đạt được bằng model bơm tăng cường khí trơ (kiểu AX2) (so sánh với các máy bơm truyền thống của ULVAC)
Bơm tốc độ cao đạt được trong chân không siêu cao
Bơm xuống mức chân không siêu cao trong một thời gian ngắn
Áp lực cao nhất theo yêu cầu 10-10 Pa (đạt được với thử nghiệm tuân thủ các tiêu chuẩn ISO)
Các đặc tính bơm ở mức đỉnh tại mức chân không siêu và cực kỳ cao (việc xả được duy trì xuống mức chân không siêu cao)
Thông số kỹ thuật
>>> Thông tin PST-100CX / 100AX