Thiết bị kiểm tra wafer Bridge Hall HMS-3000
Hãng Bridge Technology
Hệ thống đo Hall HMS-3000 là một hệ thống hoàn chỉnh để đo điện trở suất, nồng độ chất mang và độ linh động của chất bán dẫn.
HMS-3000 bao gồm phần mềm có khả năng đường cong I-V để kiểm tra tính toàn vẹn ohmic của các tiếp điểm mẫu do người dùng tạo. Các hệ thống này có thể được sử dụng để mô tả đặc tính của các vật liệu khác nhau bao gồm chất bán dẫn và chất bán dẫn hỗn hợp (Loại N & P) như Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCO, kim loại, v.v., ở cả hai 300K và 77K (nhiệt độ phòng và nhiệt độ nitơ lỏng).
Đặc trưng
Model máy tính để bàn nhỏ gọn – Nam châm vĩnh cửu và hệ thống mạch nhỏ được sử dụng thay cho hệ thống nam châm điện và nguồn dòng không đổi cồng kềnh, tạo ra một thiết kế máy tính để bàn nhỏ gọn.
Đơn giản và chính xác
5 Phạm vi dòng điện giai đoạn giảm thiểu sai số cho phép đến mức tối thiểu. Vận hành đơn giản – Kết quả dữ liệu nhanh chóng
Dữ liệu được nhập vào bằng một thao tác đơn giản cung cấp nồng độ chất mang dạng khối/tấm, độ linh động, hệ số Hall, điện trở suất khối, độ dẫn điện, điện trở từ và alpha (Tỷ lệ điện trở dọc/ngang).
Thành phần sản phẩm
Hệ thống cung cấp nguồn hiện tại không đổi
Trường hợp đo mẫu
Bộ nam châm vĩnh cửu
Chương trình đo hiệu ứng Hall (Windows)
Phễu chứa nitơ lỏng
Đặc trưng
Khả năng đo điện trở suất thấp và cao, nồng độ và tính di động của chất mang dạng tấm và khối, hệ số Hall trong chất bán dẫn
Chế độ đo DC
phép đo van der Pauw và Hall Bar
Hệ thống bảng (nhiệt độ phòng hoặc 77K)
Thông số kỹ thuật:
Cỡ mẫu tối đa (Bảng nhỏ) – 6 mm x 6 mm, (Bảng lớn/Bảng kẹp lò xo) – 20 mm x 20 mm.
Nhiệt độ đo: 300K (nhiệt độ phòng), 77K (Nitơ lỏng)
Thời gian hồi chiêu: 10 giây.
Vật liệu đo lường: Tất cả các chất bán dẫn bao gồm Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (Có thể đo được Loại N & Loại P).
Dữ liệu đầu vào về độ sâu cho phép đo toàn diện toàn bộ vật liệu.
Dải điện trở suất của HMS-3000: 10-4 đến 107 (Ohms-cm)
Nam châm: Nam châm vĩnh cửu (đường kính: 50mm)
Mật độ từ thông: 0,51 Tesla danh nghĩa +/- 1% giá trị được đánh dấu (Tùy chọn 1 bộ mẫu Tesla chỉ dành cho thử nghiệm 300K)
Tính ổn định: 2% trong 1 năm
Độ đồng đều: +/- 1% trên đường kính 20 mm tính từ tâm
Khoảng cách cực: 26 mm
Dải điện áp Hall: 1uV đến 2000mV
Độ linh động: (cm2/Volt-giây) 1 ~ 107 (bao gồm cả nhiệt độ thấp)
Mật độ (cm-3): 107 ~ 1021
Cường độ trường tiêu chuẩn 0,51 Tesla, Cường độ trường tùy chọn 0,27T, 0,31T, 0,37T, 1,0 Tesla (chỉ thử nghiệm 300K).
Kích thước (W × D × H): 320 x 300 x 105 mm (Hệ thống cung cấp dòng điện không đổi)
Trọng lượng: 7,7kg (không có bao bì vận chuyển)
Đóng gói trong thùng gỗ ở nước ngoài, Trọng lượng: 18,5 Kg, Kích thước: 23" x 18"x19