Thiết bị kiểm tra wafer Bridge HMS-5000/HMS-7000
Hãng Bridge Technology
Hệ thống đo hiệu ứng Hall dòng HMS-5000 / dòng HMS-7000 có chuyển động nam châm tự động, khả năng thay đổi nhiệt độ và phần mềm phân tích mạnh mẽ.
Phạm vi nhiệt độ:
HMS-5000: 80oK đến 350oK (chỉ)
HMS-5300: 80oK đến 350oK &/hoặc 300oK đến 573oK
HMS-5500: 80oK đến 350oK &/hoặc 300oK đến 773oK
Hệ thống đo hiệu ứng Hall dòng HMS-5000 và dòng HMS-7000 được tự động hóa để không cần sự can thiệp của người dùng, chúng sẽ tăng theo nhiệt độ do từng người dùng xác định, ổn định, thực hiện các phép đo (bao gồm cả việc di chuyển nam châm tự động), sau đó sẽ vẽ đồ thị đa dạng thuộc tính vật liệu phụ thuộc vào nhiệt độ.
Hệ thống vẽ biểu đồ nồng độ theo nhiệt độ, độ linh động theo nhiệt độ, điện trở suất theo nhiệt độ, độ dẫn điện theo nhiệt độ và hệ số Hall theo nhiệt độ. Hệ thống cung cấp kết quả kiểm tra dưới dạng dữ liệu dạng bảng cũng như ở dạng biểu đồ. Người dùng xác định các bước nhiệt độ mong muốn trong phạm vi từ 80K đến 350K, đổ đầy hai bình chứa LN2, sau đó hệ thống sẽ tự động áp dụng và chuyển đổi dòng điện đầu vào, đo điện áp, thay đổi nhiệt độ và di chuyển nam châm mà không cần sự can thiệp của người dùng. Sau khi thử nghiệm kết thúc, tất cả các biểu đồ phụ thuộc nhiệt độ và dữ liệu dạng bảng đã sẵn sàng để xem.
Các hệ thống có thể được sử dụng để mô tả đặc tính của các vật liệu khác nhau bao gồm tất cả các chất bán dẫn bao gồm Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (có thể đo được Loại N & Loại P), các lớp kim loại, oxit, v.v. Thử nghiệm mẫu có thể được thực hiện để chứng minh khả năng của hệ thống.
Thử nghiệm với nhiệt độ thay đổi từ 80K đến 350K
Nam châm điều khiển bằng động cơ tự động di chuyển
Kiểm tra nhiệt độ và mật độ hạt tải điện, độ linh động, điện trở suất, hệ số Hall, độ dẫn điện, v.v.
Dễ sử dụng với khả năng kết quả mạnh mẽ
Giá rất cạnh tranh