Mẫu chuẩn bậc chiều cao VLSI Standards

Tiêu chuẩn chiều cao bậc thang (thạch anh) Mô tả sản phẩm

Thông số kỹ thuật cho Tiêu chuẩn chiều cao bậc thang có bậc thang nhỏ hơn 1 µm:

Khu vực hiệu chuẩn máy đo độ cao của Chuẩn độ cao bước bao gồm một bước dương rộng 100 µm và dài 750 µm và được đánh dấu rõ ràng bằng các con trỏ. Thiết kế của chuẩn hiệu chuẩn máy đo độ cao quang học hoặc cơ học này kết hợp các tính năng chẩn đoán như bước tăng dần cho động lực học của bút stylus, kích thước và độ phân giải, một tính năng hình chữ "V" để kiểm tra tính toàn vẹn của bút stylus, các dấu căn chỉnh, một thước kẻ để tạo điều kiện thiết lập chiều dài quét, cũng như lớp phủ chữ thập và các tính năng căn chỉnh bút stylus. Hộp thu phóng và lưới x, y tăng dần cho phép xác định độ tuyến tính phóng đại của cả chuẩn máy đo độ cao quang học và cơ học. Chuẩn hiệu chuẩn máy đo độ cao được phủ một lớp Crom bảo vệ dày 90 nm để đảm bảo độ phản xạ cao.

Mô tả sản phẩm cho Tiêu chuẩn chiều cao bậc thang lớn hơn 1 µm

Khu vực hiệu chuẩn máy định hình thực tế của tiêu chuẩn máy định hình quang học và cơ học bao gồm một đặc điểm âm (rãnh) rộng 1 mm và dài 2,5 mm và được đánh dấu rõ ràng bằng các con trỏ. Hai cấu trúc bước bổ sung tạo thành một đường thử nghiệm cho động lực học của bút stylus và thiết lập tốc độ quét, trong khi hai đặc điểm hình chữ "V" có thể được sử dụng để xác định tính toàn vẹn và độ sạch của bút stylus. Tiêu chuẩn hiệu chuẩn máy định hình quang học và cơ học được phủ một lớp Crom dày 90 nm để đảm bảo độ phản xạ cao.

Tiêu chuẩn chiều cao bậc thang (thạch anh) Thông số kỹ thuật sản phẩm

• Chiều cao bước danh nghĩa:
  8 nm, 18 nm, 44 nm, 88 nm, 180 nm, 450 nm, 940 nm, 1,8 µm, 4,5 µm, 8,0 µm, 14,5 µm, 19,5 µm, 24 µm, 50 µm

• Kích thước nền
  25 mm x 25 mm x 6,35 mm

• Khả năng truy xuất
  Có thể truy xuất đến Đơn vị SI thông qua các Mẫu được Hiệu chuẩn NIST