Mẫu chuẩn bề mặt cho kính hiển vi VLSI Standards

Tiêu chuẩn địa hình bề mặt AutoLoad (ALSTS) Mô tả sản phẩm

Sản phẩm kích thước ALSTS bao gồm 5 cụm pitch có kích thước khác nhau được tạo hoa văn trên một lớp silicon dioxide và được phủ bằng Crom để có độ tương phản tối ưu. Cụm trung tâm được chứng nhận và có thể truy xuất nguồn gốc, trong khi các cụm còn lại dành cho màn hình sử dụng hàng ngày để kéo dài tuổi thọ của tiêu chuẩn hiệu chuẩn kính hiển vi.

Mỗi cụm pitch trên tiêu chuẩn hiệu chuẩn kính hiển vi chứa ba mẫu lưới riêng biệt cách nhau 100 µm. Mỗi mẫu lưới có kích thước khoảng 270 µm x 270 µm và bao gồm một mảng các thanh và khoảng cách xen kẽ với pitch theo cả hướng X và Y. Mỗi mẫu sản phẩm đều có 3 cụm pitch theo tiêu chuẩn và có sẵn ở các độ cao bước thẳng đứng là 18 nm, 44 nm, 100 nm hoặc 180 nm. Kỹ thuật sản xuất của chúng tôi sử dụng các phương pháp in thạch bản tiên tiến để có được một mẫu địa hình rất đều đặn và lấy mẫu thống kê để cho phép đo chính xác trên toàn bộ khu vực làm việc của tiêu chuẩn hiệu chuẩn kính hiển vi. Tiêu chuẩn địa hình bề mặt được chứng nhận và có thể truy xuất nguồn gốc cho cả pitch và step height.

Tiêu chuẩn địa hình bề mặt AutoLoad (ALSTS) Thông số kỹ thuật sản phẩm

• Thông số kỹ thuật SEMI Tấm silicon
  200 mm và 300 mm

• Vật liệu
  Silic Dioxide trên Silic phủ Crom

• Giá trị cao độ danh nghĩa (X và Y)
  3 µm, 10 µm và 20 µm (tất cả trên một tiêu chuẩn)

• Chiều cao danh nghĩa có sẵn (Z)
  18 nm, 44 nm, 100 nm, 180 nm

• Khả năng truy nguyên
  Độ cao bước và độ cao bước: Có thể truy nguyên theo Đơn vị SI thông qua NIST