Mẫu chuẩn bậc chiều dày VLSI Standards
iêu chuẩn chiều cao bậc siêu dày bao gồm một rãnh được khắc vào khuôn silicon. Chiều rộng của rãnh xấp xỉ 1 mm. Chiều dài của rãnh xấp xỉ 4,5 mm. Khu vực hiệu chuẩn của Tiêu chuẩn chiều cao bậc siêu dày được đánh dấu rõ ràng bằng các con trỏ. Vật liệu silicon tinh thể đơn mà tiêu chuẩn được tạo ra đảm bảo bề mặt làm việc rất phẳng và mịn cũng như độ song song của bề mặt trên và dưới. Các tiêu chuẩn này cực kỳ chính xác với độ không chắc chắn được nêu là 0,05% hoặc tốt hơn. Tiêu chuẩn chiều cao bậc siêu dày được gắn trên một tấm nền nhôm anodized cực kỳ phẳng, chống trầy xước.
Tiêu chuẩn chiều cao bậc thang siêu dày Thông số kỹ thuật sản phẩm
- Chiều cao bước danh nghĩa:
150 µm, 200 µm và 250 µm
- Kích thước khuôn silicon:
10 mm x 10 mm
- Kích thước nền 50 mm x 50 mm x 5 mm
- Độ không chắc chắn
0,05% hoặc tốt hơn.
- Có thể truy xuất nguồn gốc Có thể truy xuất nguồn gốc thông qua các mẫu được hiệu chuẩn
PTB